專業從事福斯潤滑油，福斯防銹油，福斯切削液，福斯清洗劑，福斯特種潤滑油，北京東啟友聯商貿有限公司將竭誠為您服務！
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半導體產業正在蓬勃發展。隨著5G、物聯網(IoT)、人工智能(AI)、電動汽車、聯網醫療設備、工業機器人等下一代技術的出現，對微處理器、存儲芯片、平板顯示器等半導體產品的需求不斷增加。這些技術復雜的應用通常要求更快的處理速度和更低的功耗，需要更復雜的制造工藝。現在許多工藝的制造精度降至10納米以下，這意味著即使是最小的污染物也會導致產品缺陷和產量損失。這些系統必須可靠地運行以滿足需求。潤滑劑是確保制造和加工設備功能的必要條件，但錯誤的潤滑劑可能導致計劃外的停機時間和污染。維護和停機時間是昂貴的。潤滑油防止摩擦和磨損，延長部件壽命，確保系統可靠運行。潤滑油脫氣和顆粒產生會污染晶圓廠設備和產品，對產品質量和產量產生負面影響。為了避免這些問題，選擇具有低排氣和低顆粒生成特性的高性能特種潤滑脂至關重要。半導體制造和加工設備通常在高溫和真空下運行，因此需要高性能潤滑劑來保護其線性導軌和滑塊，軸承，滾珠絲杠和絲杠以及密封件免受磨損。
半導體制造和加工設備需要可靠、清潔的潤滑油來防止污染、提高產量并減少停機時間。
PFPE脂推薦表：
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產品 |
運動粘度@ 40℃ |
真空穩定(ASTM E595) |
特性 |
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NYECLEAN 5057 |
192cSt |
TML= 0.225 wt%CVCM= 0.054 wt% |
建議替代停產的傳統PFPE半導體潤滑脂。 |
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NYECLEAN 5097 R |
140cSt |
TML= 0.441 wt%CVCM = 0.044 |
在不需要排氣的環境中，具有優異的耐腐蝕性和高達180°C的磨損性能 |
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NYETORR 5300 |
140cSt |
TML= 0.320 wt%CVCM= 0.045 wt% |
工業標準PFPE真空潤滑脂。 |
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NYETORR 5300 xp |
140cSt |
TML= 0.075 wt%CVCM= 0.018 wt% |
在高負載應用中提供改進的磨損性能。 |
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NYETORR 5350 |
152cSt |
TML = 0.757 wt %CVCM = 0.451 wt % |
適用于低至中等真空條件下，改善負載和磨損性能。 |
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NYETORR 6300 |
188cSt |
TML= 0.036 wt%CVCM= 0.006 wt% |
顯著降低放氣率。 |
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NYETORR 6300S |
188cSt |
TML= 0.012 wt%CVCM= 0.000 wt% |
一種軟潤滑脂，用于需要較低粘性阻力和扭矩阻力的應用。 |
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NYETORR 6350EL |
200cSt |
TML = 0.060 wt%CVCM = 0.008 wt% |
在需要低排氣和低扭矩的應用中提供終身潤滑性能。 |
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NYETORR 6370EL |
362cSt |
TML= 0.063 wt%CVCM= 0.001 wt% |
提供任何PFPE潤滑劑的最長壽命，同時提供卓越的耐腐蝕和耐磨性。 |
MAC脂推薦表：
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產品 |
運動粘度@ 40℃ |
真空穩定(ASTM E595) |
特性 |
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NYETORR 5200 |
108cSt |
TML= 0.068 wt%CVCM= 0.007 wt% |
優異的扭矩和抗磨損性能，延長部件壽命。 |
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NYETORR 6200 |
108cSt |
TML= 0.058 wt%CVCM= 0.025 wt% |
優異的排氣和抗磨損性能。 |
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NYETORR 6200-FL |
108cSt |
TML = 0.03 wt %CVCM = 0.007 wt % |
卓越的扭矩性能，在低速抖動操作。 |
MAC油推薦表：
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產品 |
運動粘度@ 40℃ |
真空穩定(ASTM E595) |
特性 |
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NYETORR 5201 |
108cSt |
TML= 0.120 wt%CVCM= 0.013 wt% |
NyeTorr®5200使用的基礎油。 |
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NYETORR 6201 |
108cSt |
TML= 0.110 wt%CVCM= 0.010 wt% |
NyeTorr®6200使用的基礎油。 |
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SYNTHETIC OIL 3001A |
2082cSt |
TML = 0.100 wt %CVCM = 0.050 wt % |
一種超濾油，適用于需要優異薄膜強度的負載應用。 |
酯脂和油
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產品 |
運動粘度@ 40℃ |
真空穩定(ASTM E595) |
特性 |
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NYEVAC 9720 |
61cSt |
TML= 0.359 wt%CVCM= 0.023 wt% |
用于渦輪分子泵的酯油 |
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NYEVAC 9721 |
61cSt |
TML= 0.942 wt%CVCM= 0.467 wt% |
用鋰皂增稠的酯脂，用于渦輪分子真空泵系統。 |
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NYEVAC 9724 |
61cSt |
TML= 0.279 wt%CVCM= 0.073 wt% |
一種用聚四氟乙烯增稠的非常柔軟的酯脂，用于渦輪分子真空泵系統。 |
PFPE油脂推薦表：
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產品 |
運動粘度@ 40℃ |
真空穩定(ASTM E595) |
特性 |
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NYETORR 5301 |
140cSt |
TML= 0.230 wt%CVCM= 0.033 wt% |
NyeTorr®5300使用的基礎油。 |
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NYETORR 6301 |
187cSt |
TML= 0.00 wt%CVCM= 0.000 wt% |
NyeTorr®6300使用的基礎油。 |
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NYETORR 5361 |
192cSt |
TML= 0.03 wt%CVCM = 0.010 |
NyeClean®5057使用的基礎油。 |
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NYETORR 6371 |
446cSt |
TML= 0.020 wt%CVCM= 0.002 wt% |
NyeTorr®637el使用的基礎油。 |
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NYETORR 5381 |
809cSt |
TML= 0.070 wt%CVCM= 0.004 wt% |
當需要一定程度的阻尼時，用作靜態密封的潤滑脂替代品。 |
半導體潤滑脂和油類的優點:
NyeTorr®、NyeClean®和NyeVac®是專門為半導體制造和加工設備配制的特種潤滑劑。這些低排氣半導體潤滑劑即使暴露在工藝氣體中也具有化學穩定性，使其成為領先的半導體設備oem和制造商的首選。
功能和優勢：
A.減少摩擦和磨損
B.延長部件壽命
C.防止污染
D.承受真空條件
E.提高功能和可靠性
F.提高生產線產量
G.避免潛在缺陷
H.增加正常運行時間
選擇半導體潤滑劑時應考慮哪些特性?
低出氣：當潤滑劑排出氣體時，它會釋放出可冷凝的物質，這些物質會污染硅片、加工設備和其他敏感部件。潤滑油脫氣測量總質量損失(TML)和收集的揮發性可冷凝物質(CVCM)每ASTM E595。Nye的潤滑油遠遠低于半導體行業確定的可接受的排氣限制，TML為1%或更低，CVCM為0.10%或更低。Nye可以收集這些可冷凝物質，并進行殘留氣體分析(RGA)，以識別從潤滑劑中脫落到系統中的物質。
低粒子產生：術語動態粒子生成描述了當污染物被強制或從潤滑的滾珠絲杠、軸承或齒輪系統排出到操作環境中時所發生的情況。這些污染物可能包括基礎油成分、增稠劑顆粒、添加劑等，并通過滾動、滑動或兩者結合的動態機械作用從油脂中釋放出來。Nye應用開發和驗證測試實驗室的工程師開發了一種專有的測試方法和設備，可以測量和量化這些動態條件下的顆粒生成。該測試的結果提供了有價值的數據，可用于開發具有低顆粒生成的特種潤滑劑。
耐高溫性能：潤滑劑必須能夠在高溫下保護晶圓廠設備的機械部件而不蒸發。隨著蒸汽壓的增加，在高溫下更容易發生排氣。Nye的許多真空和潔凈室潤滑油的配方可在高達250°C的溫度下運行。
潤滑油清潔度等級：真空和潔凈室環境中的制造設備是高度敏感的，即使是微小的顆粒也會導致產品失效。確保潤滑劑清潔度的最佳方法是通過超濾來消除潤滑劑中的微觀顆粒。Nye可以超濾油脂和油，以消除半導體應用中可能存在的污染物。
PF0A-Compliance:所有用于半導體行業的Nye產品都使用PTFE, PFOA含量低于重量的0.1%，符合REACH指南和其他國際法規。雖然這項工作不是對每種產品的完整配方進行測量，但分析表明，聚四氟乙烯將是全氟辛酸水平的最重要貢獻者。
PFPE與MAC潤滑油:PFPE和MAC潤滑油都推薦用于真空環境，因為它們的蒸氣壓低，放氣少。與MAC潤滑油(高達150°C)相比，PFPE潤滑油提供了更好的高溫性能(高達250°C)。由于其獨特的添加劑包裝，與PFPE潤滑油相比，MAC潤滑油提供了更好的抗磨損保護。這兩種化學物質都可以超濾，與塑料和彈性體兼容，并符合PFOA法規。
nytorr vs NyeClean：我們的NyeTorr®和NyeClean®產品是化學穩定，無毒，低蒸汽壓的合成潤滑劑，適用于半導體元件，如軸承，線性導軌，滾珠絲杠和其他敏感機構。NyeTorr®產品推薦用于暴露在高溫下的超高真空應用。NyeClean®產品具有良好的低顆粒生成特性，推薦用于潔凈室應用，如后端包裝，很少或沒有真空。